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中微半導體設備(上海)有限公司
來源:互聯網

中微半導體設備(上海)股份有限公司(英文:Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China),簡稱:中微公司,成立于2004年5月31日,上海科技創業投資集團成員,注冊地址位于上海市浦東新區金橋出口加工區(南區)泰華路188號,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業為主的企業。法定代表人為尹志堯,中微公司于2019年7月22日在上海證券交易所科創板掛牌上市,發行價29.01元/股,股票代碼為688012,是科創板首批25家上市公司之一。

中微半導體設備(上海)有限公司是一家以中國為基地面向全球的微觀加工高端設備公司,致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司研發了多款具自主知識產權的芯片設備,并在全球范圍內申請了1200余項專利。中微公司基于在半導體裝備產業多年耕耘積累的專業技術,跨足半導體芯片前端制造、先進封裝、發光二極管生產、MEMS制造以及其他微觀制程的高端設備領域,瞄準世界科技前沿,堅持自主創新,服務遍布中國大陸和臺灣、新加坡、韓國、德國、意大利等國家和地區的客戶。

2004年8月,公司在張江高科技園區啟動運營。2007年6月,公司首臺CCP刻蝕設備產品研制成功;2010年6月推出首臺TSV/MEMS/Dicing刻蝕設備;2012年11月推出首臺MOCVD設備。2021年5月,中微公司成功研制出3nm蝕刻機。同年8月,中微公司開發出小于5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工。9月,中微半導體設備(上海)有限公司獲得第四屆中國質量獎提名獎。10月25日,中微公司宣布其全球第500臺MOCVD設備順利付運。中微公司入選2021年(第28批)新認定國家企業技術中心。2022年8月,入選《2022中國品牌500強》榜單,位列347位。2024年,中微公司入圍2024中國創新力企業50強榜單。

歷史沿革

2004年9月10日,公司住所從上海市張江高科技園區郭守敬路351號1號樓625室變更為上海市張江高科技園區牛頓路200號1號樓6樓A、B室。11月2日,企業類型從非公司外商投資企業(外商合資)變更為有限責任公司(中外合作)、法定代表人從AIHUA CHEN變更為尹志堯、注冊資本(金)從2000.0000萬美元變更為2605.0000萬美元。2015年12月25日開始,企業類型先后變更為從有限責任公司(中外合作)、有限責任公司(外國法人獨資)、有限責任公司(中外合資)、Inc.(中外合資、未上市)、股份有限公司(中外合資、上市)。

2018年年初,中微半導體公司獲悉,美方涉嫌侵犯中微公司專利權的設備即將從上海浦東國際機場進口,隨即向上海海關提出扣留侵權嫌疑貨物的申請。上海海關及時啟動知識產權海關保護程序,在進口環節開展行政執法,根據權利人申請,暫停涉嫌侵權設備的通關,這批設備貨值達3400萬元。

隨著海關介入執法,美方開始正視中微公司的自主研發專利及其在中國的知識產權狀況,主動與中微公司展開談判,雙方最終達成全球范圍相互授權的和解協議。

2021年5月8日消息,中微公司成功研制出3nm蝕刻機,且完成了原型機的設計、制造、測試及初步的工藝開發和評估,并已進入量產階段。7月2日晚,中微公司披露發行情況報告書,最終以每股102.29元的價格發行8022.93萬股,合計募得資金82.07億元。8月,中微半導體設備(上海)有限公司已開發出小于5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工。10月25日,中微半導體設備(上海)股份有限公司宣布其MOCVD設備系列喜迎又一里程碑:全球第500臺MOCVD設備順利付運國內領先的LED外延片和芯片研發生產制造商。

2024年12月27日,中微公司公告稱,其董事長、總經理尹志堯和嘉興眾闔企業管理合伙企業(有限合伙)擬以增資750萬元的方式投資中微公司的控股子公司AMD設備(上海)有限公司,其中尹志堯增資250萬元,增資完成后,中微公司持股51%,尹志堯持股5%。

2026年1月8日,半導體龍頭中微公司(688012)公告稱,巽鑫(上海)投資有限公司持有公司6847.39萬股股份,占總股本的10.94%,計劃自公告披露之日起15個交易日后的3個月內,通過集中競價或大宗交易方式減持不超過1252.29萬股,即不超過公司總股本的2%,減持原因為自身經營管理需要。中微公司創始人、董事長、總經理尹志堯計劃自公告披露之日起15個交易日后的3個月內,通過集中競價方式減持公司股份不超過29萬股,占公司總股本比例不超過0.046%。減持原因為:其已從外籍恢復為中國籍,為依法辦理相關稅務所需。

組織架構

管理層

以上參考:

股份分配

以上參考:

對外投資

以上參考:

下屬企業

中微北京

中微半導體設備(上海)股份有限公司北京分公司為中微半導體設備(上海)股份有限公司的下屬分公司,于2020年8月正式掛牌成立,其前身是2014年成立的中微北京Site。北京分公司現有團隊成員15人,主要為半導體芯片前端制造、先進封裝、LED生產、MEMS制造以及其他微觀制程領域提供先進的等離子體刻蝕設備及其成套工藝。其經營范圍包括銷售半導體設備和零件以及為所銷售產品提供維修、售后服務、技術支持等。

中微杭州

中微半導體(上海)有限公司杭州分公司為中微半導體(上海)有限公司的下屬分公司,于2022年5月正式成立,其經營范圍包括銷售半導體設備和零件,軟件開發,數據處理,智能家庭設備消費設備銷售,第一類醫療器械銷售,第二類醫療器械銷售,信息咨詢服務等。

主要業務

業務范圍

研發、組裝的集成電路設備及泛半導體設備主要包括薄膜沉積設備(如低壓化學氣相沉積設備LPCVD、原子層沉積設備ALD等)、其他微觀加工設備及環保設備,同時涉及配套設備和零配件的生產,并銷售自產產品。提供技術咨詢、技術服務。

主要產品

以上參考:

科研成果

等離子體刻蝕設備

中微公司專注于研發干法刻蝕(等離子體刻蝕)設備,用于在晶圓上加工微觀結構。干法刻蝕通過等離子釋放帶正電的離子來撞擊晶圓以去除(刻蝕)材料。根據所要去除材料和加工器件結構的不同,可分為電介質刻蝕、導體刻蝕和硅通孔刻蝕。其中,CCP電容性高能等離子體刻蝕機和ICP電感性低能等離子體刻蝕機可覆蓋60%以上的刻蝕應用需求。

MOCVD設備

中微公司在MOCVD領域有非常深厚的技術積累。公司于2013年發布了第一代MOCVD設備 Prismo D-BLUE?,由于其較高的靈活性和生產效率、優異的性能以及簡便易行的設備維護,中微的MOCVD設備獲得了客戶的認可和信任。2016年,中微發布了其第二代MOCVD設備 Prismo A7?。在 Prismo D-BLUE的基礎上,Prismo A7增加了一些新的特征,以進一步提升生產效率和加工性能。該設備已應用于國內眾多領先的LED生產線。

中微具有自主知識產權的MOCVD設備Prismo HiT3?,是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備。在不到三年的時間里,中微已經在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場形成了領先地位。自推出Prismo A7以來,公司持續豐富產品線并推進升級迭代,在MiniLED等氮化鎵基設備領域市場占有率處于前列,同時開展用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD設備研發。

薄膜設備

作為中微公司自主研發的產出效率高且性能優秀的12英寸CVD金屬鎢設備,Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔,每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓,在保證較低的生產成本和化學品消耗的同時,實現較高的生產效率。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識產權的優化混氣方案,自主設計優化的分氣抽氣系統和真空卡盤,具有優秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調節靈活性,對于彎曲度較大的晶圓,它也具備良好的工藝處理能力。并且其優異的階梯覆蓋率和填充能力,可以滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需求。

環保設備

憑借在使用了復雜化學物和氣體的高端工藝設備領域的專業知識,中微在自主研發空氣過濾產品方面具有獨特的優勢,該產品符合嚴格的空氣質量標準。中微在國內率先開發制造了工業用大型VOC 凈化設備。

經營情況

2020年4月17日,中微公司披露2019年年度報告,期內公司實現營業收入19.47億元,同比增長18.77%;歸屬于上市公司股東的凈利潤1.89億元,同比大增107.51%。2023年,中微公司刻蝕設備新增訂單約69.5億元,同比增長約60.1%。2024年前三季度(1-9月),中微公司營業收入為55.07億元,同比增長約36.27%。其中刻蝕設備收入44.13億元,同比增長約53.77%。公司2024年前三季度(1-9月)新增訂單76.4億元,同比增長約52.0%。其中刻蝕設備新增訂單62.5億元,同比增長約54.7%;新產品LPCVD新增訂單單3.0億元,開始啟動放量。截至2024年12月27日,中微公司股價197.35元,市值1228.23億元。2025年4月17日,中微半導體設備(上海)股份有限公司發布2024年年度報告。報告期內,公司實現營業收入約90.65億元,同比增長約44.73%;歸屬于上市公司股東的扣非凈利潤約13.88億元,同比增長約16.51%。2025年上半年,中微公司營業收入約為49.61億元,同比增長約43.88%;核心產品刻蝕設備收入占公司總收入比例超過75%,同期新簽訂單同比增速達40%。2025年第三季度,公司單季研發投入為10.31億元,同比增長79.93%,占當季營業收入的33.25%。2025年前三季度,公司實現營業收入80.63億元,同比增長46.40%;實現歸屬于上市公司股東凈利潤12.11億元,同比增長32.66%。

企業文化

以上參考:

社會責任

堅持綠色發展

堅持綠色發展,進一步完善治理架構,明確綠色發展目標,加強綠色智能創新,運用先進廠務管理系統打造智能工廠,建設智能化倉庫。我們注重節能降碳,啟動屋頂光伏計劃,使用清潔能源替代,建設綠色建筑,做好水土保持,持續推進上海生產基地開展節能節水新項目開展,并取得顯著成效。積極貫徹落實綠色運營理念,做好生產和生活過程中產生的廢氣、廢水、固體廢棄物處理處置,盡可能減少公司生產運營對環境和社會的不利影響。

通過不斷探索實踐,積極應對氣候變化,助力國家“雙碳”目標實現。在南昌高科園區建設的約14 萬平米的生產和研發基地已基本建成完工,部分生產潔凈室于2022年7月投入試生產;在上海臨港的約18萬平方米的生產和研發基地主體建設已完成,2023年將部分投入使用;上海臨港滴水湖畔約10萬平方米的研發中心暨總部大樓也在順利建設。

責任供應鏈

慎重選擇零部件供應商并進行嚴格考核,與全球約300 家供應商建立了穩定合作關系,不斷完善供應商管理體系,加強供應鏈環境和社會風險管理,協助供應商提升ESG集團 管理能力,積極采取相關措施提升供應鏈韌性,保持供應商多元化,憑借自主技術創新優勢,加強本土產業鏈培育,持續為公司產品和服務水平的持續提升提供穩定保障。

以人為本

中微公司致力于為全體員工創造安全、滿意的工作環境,建立并不斷健全多元的人才引進體系和職業發展體系。通過扁平的薪酬制度、有效的獎勵機制和獨特的全員持股的社會主義集體所有制,使員工把自己的近期利益和長遠利益與公司的持續發展緊密結合起來。秉持“以人為本”的人才理念,尊重員工追求美好生活的原動力, 通過建立民主集中管理機制,多維績效評價以及扁平的薪酬制度,最大化員工自身能量與積極性,形成合作共贏的發展局面。

2022年公司新組建了涵蓋球類、有氧、文娛、藝術等四大類共計15個員工俱樂部,來自公司不同部門的18 位俱樂部會長及副會長組建了“會長之家”,累計組織了200 余次活動,將興趣相投的中微人組織在一起,既愉悅了身心,又增進了團隊凝聚力。

合作共贏

2022年10月,上海市集成電路第五期“大師講堂”順利舉行。“大師講堂”是上海培育積極活躍的集成電路生態圈的重要活動,每期講堂均邀請海內外領軍企業負責人、業內知名專家學者。中微公司董事長尹志堯先生在講堂現場做了精彩的專題演講,并參加了“上海集成電路緊缺人才(臨港)產教基地”啟動儀式,上海市集成電路行業協會等各主流媒體平臺同步進行了線上直播。

教育支持

2022年中微公司繼續深化和中國科學技術大學(中科大)的合作,充分利用中科大的科研優勢和中微公司的企業環境,共同建設“中微半導體集成電路英才班”。2022年向中科大捐助60萬元人民幣,通過校企合作,共同培養未來集成電路產業精英人才。

2022年12月,中微公司與上海交通大學(上海交大)教育發展基金會簽訂捐贈協議設立“中微- 未來基金”,并在2022年向該基金捐贈100萬元人民幣,用以支持上海交大博淵未來技術學院的初創和發展。同時,為推動校企合作,雙方共同設立了社會實踐基地,將為在校學生提供半導體行業前沿的技術指導和實踐鍛煉平臺,促進理論知識到專業實踐能力的轉化。未來,雙方將以產學研的合作模式在技術開發、人才培養等方面進一步探索科研教育與產業發展的結合。

扶老濟困

以公益敬老為初心,中微公司自2020年起,與上海市老年基金會建立合作,作為社會力量積極加入上海老齡事業的發展。2022年,中微延續了上一年的公益慈善模式,為居住在浦東新區的特困老人家庭(主要為因病致貧老人)提供資金支持和生活上的幫助。在這一年中,共有41名公司志愿者參與進來,和基金會的工作人員一起在春節中秋節分兩次走訪慰問了共計84位特困老人,定向幫扶特困老人家庭65 戶,提供現金及慰問品共計84.56萬元人民幣。2022年底,中微與上海市老年基金會簽訂協議展開進一步的合作,已為2023年的項目預捐贈約165萬元,并將于2023年起把幫扶對象擴大到整個上海地區,讓更多的困難老人從中受益。2025年1月,中微公司向上海市老年基金會黃浦代表處捐贈了500套“暖心寶”,這臺理療儀將幫助有需要的老人改善腰膝酸痛等情況。

強化質量管控

中微公司始終將質量管控工作擺在關鍵性位置,建立質量管控體系,打造質量管理系統,多措并舉不斷強化質量管控。做到設計、生產、出庫,全流程、全方位的產品質量管控,為客戶提供性能穩定、質量可靠的優質產品。為滿足半導體行業嚴苛的質量要求,中微公司始終秉承“質量和持續改進根植于中微公司的每一個方面,及每個人每分鐘的工作中”的質量方針,總結質量管理經驗,建立了“三全食品、三重保險、三個滿意”的質量管理模式,以“全方位、全過程、全員參與”(三全)為基礎,將“三重保險”實踐方法貫穿于產品開發、供應商管理、生產制造、客戶服務等所有環節,最終實現客戶和供應商滿意、產業和市場滿意、社會和國家滿意的“三個滿意”。

獲得榮譽

以上部分榮譽獎項,全文參考:

社會事件

提起侵犯商業秘密案中贏得二審勝訴

2018年年初,美方涉嫌侵犯中微公司專利權的設備。隨著海關介入執法,美方主動與中微公司展開談判,雙方最終達成全球范圍相互授權的和解協議。2018年年初,中微半導體公司獲悉,美方涉嫌侵犯中微公司專利權的設備即將從上海浦東國際機場進口,隨即向上海海關提出扣留侵權嫌疑貨物的申請。上海海關及時啟動知識產權海關保護程序,在進口環節開展行政執法,根據權利人申請,暫停涉嫌侵權設備的通關,這批設備貨值達3400萬元。?隨著海關介入執法,美方開始正視中微公司的自主研發專利及其在中國的知識產權狀況,主動與中微公司展開談判,雙方最終達成全球范圍相互授權的和解協議。2023年,中微公司在針對美商泛林集團股份公司(Lam Research Corporation)提起的侵犯商業秘密案中贏得二審勝訴。

起訴美國國防部

2021年1月14日(美國東部時間),中微公司被五角大樓列入中國共產黨軍事企業清單。經中微公司向美國國防部申訴后,同年6月3日(美國時間)中微公司成功地被移除此清單。2024年1月31日(美國東部時間),美國國防部根據《2021財年國防授權法》第1260H條的要求,發布更新版本的直接或間接在美運營的中國軍事企業(Chinese Military Companies,以下簡稱“CMC清單”)名單,中微公司再次被列入該清單。中微公司表示美國國防部將中微公司列入CMC清單的決定是錯誤的,不符合事實,沒有法律依據,且違背了程序正當。自被列入CMC清單以來,中微公司竭盡所能積極地同美國國防部進行溝通、澄清事實,提供了充分的證據證明其不符合CMC清單的認定標準,并要求其將中微公司從CMC清單中移除,然而,截至正式起訴之日,仍未如愿。2024年8月16日,中微公司宣布,已向美國法院正式提交訴狀,起訴美國國防部將其列入CMC清單的錯誤決定,請求法院要求美國國防部撤銷該決定,以消除誤解,維護中微公司合法權益,并保障中微公司股東、客戶及合作伙伴的利益。當地時間12月17日,美國國防部宣布已于12月13日將中微公司從CMC清單中移除。

尹志堯恢復中國籍

2022年,中微公司年報中明確標注尹志堯為美國公民;其2023年年報未披露其國籍信息;直至2024年其年報正式確認尹志堯已恢復中國國籍。2026年1月8日,中微公司發布公告稱,尹志堯計劃通過集中競價方式減持公司股份。公告顯示,尹志堯減持股份的原因是其已從外籍恢復為中國籍,為依法辦理相關稅務所需。

參考資料 >

2022年年度報告.中微公司.2023-10-21

中微半導體設備(上海)股份有限公司.愛企查.2023-10-21

中微半導體設備(上海)股份有限公司 - 天眼查.天眼查.2023-10-21

中微公司公司資料.新浪財經.2025-05-20

美國公司涉嫌侵犯中國芯片設備 在上海被海關扣下.網易新聞.2025-07-20

中微.PDF.2023-10-21

公司大事記.中微半導體設備(上海)股份有限公司.2025-10-31

中微公司:已開發出小于5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工.今日頭條.2021-08-25

中微公司榮獲第四屆中國質量獎提名獎.中微半導體設備(上海)股份有限公司.2025-05-05

中微公司全球第500臺MOCVD設備順利付運.同花順財經.2023-10-21

關于印發2021年(第28批)新認定及全部國家企業技術中心名單的通知(發改高技〔2022〕158號).國家發展和改革委員會.2023-10-21

第16屆中國品牌500強揭曉,新區占5席.掌上長沙.2023-10-21

2024福布斯中國50強創新企業出爐:華為海思、小米汽車榜上有名! .百家號.2025-11-20

美國公司涉嫌侵犯中國芯片設備 在上海被海關扣下.網易.2018-04-27

國家大基金再出手,25億元入股900億巨頭!私募大佬鄧曉峰和QFII也參股.今日頭條.2021-07-03

尹志堯出手增資超微公司 發力電子束檢測設備新賽道.今日頭條.2024-12-28

已放棄美國國籍,恢復中國籍,81歲董事長擬套現近1億元:為辦理稅務的需要.騰訊網.2026-01-10

管理層.中微.2023-10-21

超微半導體設備(上海)有限公司.企查查.2024-12-28

中微北京-中微分公司-.中微公司.2023-10-21

中微杭州-中微分公司-.中微公司.2023-10-21

主要產品.中微分公司.2023-10-21

產品技術-刻蝕設備.中微公司.2023-10-21

中微公司發布六大半導體設備 引領技術革新加速邁向平臺化.百家號.2025-10-24

產品技術-MOCVD設備.中微公司.2023-10-21

產品技術-薄膜設備.中微公司.2023-10-21

中微尹志堯:公司絕大部分刻蝕設備零部件已實現國產化!.微信公眾平臺.2026-01-08

中微半導體設備(上海)股份有限公司2024年第三季度報告.中微半導體設備公司.2024-12-22

中微公司2024年營收突破90億元 刻蝕設備業務收入同比增超五成.百家號.2026-01-25

中微公司上半年營收同比增長43.88% 加速邁向全球半導體設備第一梯隊.證券時報網.2025-10-12

中微公司:預計全年新簽訂單保持良好增長.百家號.2025-10-12

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臨港新片區成立上海集成電路緊缺人才(臨港)產教基地.界面新聞.2023-10-21

2025胡潤中國獨角獸畢業榜.胡潤百富.2026-01-23

2025數字經濟企業TOP500榜單發布 河北10家企業在列.今日頭條.2025-11-03

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關于公布2024中國企業信用500強的通知.中國企業改革與發展研究會.2025-09-12

關于公布2024中國企業信用500強的通知.中國企業改革與發展研究會.2025-09-04

2023數字經濟企業TOP500榜單正式發布.人民政協網.2024-11-22

2024上海企業百強榜發布!看看哪些企業上榜了→.今日頭條.2025-03-11

品牌榜|2023新經濟企業TOP500榜單出爐.搜狐網.2024-11-25

國家知識產權局關于確定2023年新一批及通過復核的國家知識產權示范企業和優勢企業的通知.國家知識產權局.2025-01-04

中企評與信通院首次定義“數字經濟企業”TOP500研究成果正式發布.百家號.2025-03-26

【重磅】2023上海硬核科技企業TOP100榜單發布.上觀新聞.2025-01-14

福布斯中國發布2022中國創新力企業50強,新能源賽道18家企業入選.福布斯.2023-10-21

2022上海硬核科技企業TOP100榜單發布.新浪財經.2025-02-15

重磅!中國機械500強企業名單發布|機械工業.新浪財經.2025-02-13

剛剛,第四屆中國質量獎獲獎名單揭曉!.澎湃新聞.2025-04-10

2021半導體企業100強排行榜(附榜單)-排行榜.中商情報網.2023-10-21

榮譽獎項.中微分公司.2023-10-21

中微公司在針對美商科林研發提起的侵犯商業秘密案中贏得二審勝訴.界面新聞.2023-07-11

中微公司接力小米禾賽起訴美國國防部.百家號.2026-01-25

中微公司就被列入中國軍事企業清單正式起訴美國國防部.騰訊網.2024-08-16

美國國防部已將中微公司、IDG資本從CMC清單中移除.界面新聞-騰訊網.2024-12-18

“中國刻蝕機之父”套現近1億:因本人已從外籍恢復為中國籍,為辦理稅務需要.百家號.2026-01-10

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