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來源：互聯(lián)網(wǎng)

吳漢明，1952年6月出生，微電子工藝技術(shù)專家，中國工程院院士，中芯國際集成電路制造有限公司技術(shù)研發(fā)副總裁，燦芯創(chuàng)智微電子技術(shù)（北京）有限公司總裁??，湖北大學微電子學院名譽院長。?

1987年吳漢明從中國科學院力學研究所博士畢業(yè)后先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士后研究；1993年歸國后回到中國科學院力學研究所工作；1994年被破格提升為研究員；1995年到美國亞拉巴馬州一家公司工作；1999年加盟英特爾并擔任主任工程師；2001年進入中芯國際集成電路制造（北京）有限公司，擔任技術(shù)總監(jiān)；2013年被評為北京市首批“北京學者”；2014年被評為第五屆全國杰出專業(yè)技術(shù)人才；2019年當選中國工程院院士??。

吳漢明組織推動中國國內(nèi)設(shè)計公司產(chǎn)品在中芯國際集成電路制造有限公司制造，主持和參與了中國130-22納米工藝技術(shù)研發(fā)??。

人物經(jīng)歷

1952年6月，吳漢明出生，初中還沒念完就遇到文革下鄉(xiāng)種地。1976年，從中國科學技術(shù)大學畢業(yè)。

1978年，成為“文革”后第一批碩士研究生。

1987年，從中國科學院力學研究所畢業(yè)，獲得等離子體和磁流體力學博士學位；博士畢業(yè)后先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士后研究，同時在加州諾發(fā)公司和英特爾任高級研發(fā)工程師。

1993年，歸國后晉升為中國科學院力學研究所工作。

1994年，被破格提升為研究員。

1995年，到美國亞拉巴馬州一家公司工作，兩年便研發(fā)出世界第一套可商業(yè)化的等離子體工藝模擬的軟件。

1999年，加盟英特爾，成為主任工程師。

2001年，進入中芯國際集成電路制造有限公司集成電路制造（北京）有限公司，擔任技術(shù)總監(jiān)。

2010年，被選為中國國際半導體技術(shù)年會（CSTIC?2010）大會主席。

2011年，被推薦為中國工程院院士正式候選人。

2013年，被評為北京市首批“北京學者”。

2015年，進入中國工程院院士增選第二輪評選。

2019年11月22日，當選中國工程院院士。

2020年4月9日，吳漢明擔任浙江大學微納電子學院院長。之前，吳漢明院士已經(jīng)全職加盟浙江大學，受聘為“浙江大學求是講席教授”。

2020年11月6日，吳漢明教授受聘為湖北大學微電子學院名譽院長。

2023年3月28日，吳漢明受聘為浙江大學紹興研究院戰(zhàn)略咨詢公司委員會委員。

主要成就

科研成就

科研綜述

吳漢明研發(fā)高密度等離子體刻蝕，研究理論和實驗結(jié)果表明其等離子體密度達到深亞微米刻蝕的要求，研究結(jié)果申報了國家發(fā)明專利，發(fā)表在國際專業(yè)期刊雜志上并得到廣泛引用。研發(fā)了世界上第一套可以進行等離子體工藝模擬的商業(yè)軟件并得到廣泛使用。2001年進入中芯國際集成電路制造有限公司集成電路制造（北京）有限公司后，組建了先進刻蝕技術(shù)工藝部，領(lǐng)導了0.13微米刻蝕工藝，在中國實現(xiàn)了用于大生產(chǎn)的雙鑲嵌法制備工藝，為中國首次實現(xiàn)銅互連提供了工藝基礎(chǔ)。

論著專利

截至2014年10月，吳漢明在中國國內(nèi)外主流刊物和會議上發(fā)表論文100多篇；申報發(fā)明專利84項，其中24項是國際專利。

承擔項目

科研成果獎勵

人才培養(yǎng)

講座報告

2014年6月，吳漢明應河北工業(yè)大學信息工程學院微電子技術(shù)與材料研究所邀請，對河北工業(yè)大學進行訪問交流，在北辰校區(qū)信息工程學院報告廳做了題為《集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)介紹》的學術(shù)報告。

團隊建設(shè)

吳漢明注重人才培養(yǎng)，在他的工作室里，有一批博士和碩士畢業(yè)生。作為公司的技術(shù)研發(fā)副總裁，他除了要求下屬完成工作任務外，還不斷鼓勵他們更多地進行先進工藝的研究。吳漢明沒有把能力當成私房秘籍，而是公開地和下屬分享，如果下屬在做先進研發(fā)時遇到瓶頸，無論多忙，他都會給予幫助，上下級的關(guān)系變得更像是師生關(guān)系。