探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
探針臺簡介
探針臺分類
探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動步槍，全自動
從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（超低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺
經(jīng)濟手動型
根據(jù)客戶需求定制
chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選）
X-Y移動行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選）
chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離
顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）
顯微鏡移動方式：立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型（可選）
探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關
可搭配Probe card測試
適用領域：晶圓廠、研究所、高校等
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數(shù)6～8顆
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"
可搭配Probe card測試
適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品
電動型
chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數(shù)8～12顆
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“
材質(zhì)：花崗石臺面+不銹鋼
可搭配Probe card測試
適用領域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品
LCD半自動步槍探針臺
機械手臂取放片
電動、鍵入坐標尋位置
量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手動探針臺
白熾燈或者LED整面背光
tft元件特性、Driver IC量測分析
機臺尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300
PCB量測探針臺（TDR）
高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
機臺尺寸同LCD 探針臺
太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺（Solar Cell 量測系統(tǒng)）
量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, IMAX, Vmax, RS, Fill Factor,
功率 Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器
自動探針臺的維護
探針測試臺x-y工作臺的分類
縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應區(qū)別對待。
x-y工作臺的維護與保養(yǎng)
無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其最核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。
2．1 平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng)
平面電機由定子和轉子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。
而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。
由于平面電機的定子和轉子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的乙醇，輕擦定子表面，然后用專用工具撬起動子，方法同前，輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺絲螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應恢復內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環(huán)境溫度15～25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0．4±0．04MPa。
2．2 滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養(yǎng)
相對于平面電機工作臺，牙條導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓的專業(yè)人員完成。
高精度探針臺
目前世界出貨量第一的型號吸收了最新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。
特性1：OTS-最近的位置對正系統(tǒng)（光學目標對準） OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于東京精密的度量技術。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。
特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統(tǒng)）為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置（QPU），達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。
特性3：裝載部件
令客戶滿意的測試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8“，12”及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應用做好了準備。
特性4：TTG（一點即到）
更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。
參考資料 >