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電子級二氯二氫硅electronic grade 二氯硅烷，是在室溫和大氣壓力下的一種高可燃、腐蝕性有毒氣體。
常溫常壓下，是一種高可燃、具腐蝕性的有毒氣體，沸點8.2℃，熔點一122℃。蒸氣壓：101.33kPa(8.2℃，167.18kPa (20.0℃)，303.98kPa (40℃)，526.89kPa(60℃)。在21.1℃和101.3kPa下氣體比容0.239m3/kg。液體密度：1235kg/m3(21.1℃), 1188kg/m3 (40.6℃)。臨界溫度176.0℃，臨界壓力467kPa,臨界密度463kg/m3。與空氣和氧化劑混合形成燃混合氣。在空氣中的可燃限4.1%～98.8%（體積分數）；自燃溫度58℃。在空氣中能點燃，其蒸氣比空氣重得多。與水或水汽接觸迅速水解產生硅、硅氧烷和鹽酸。與眼睛、皮膚和黏膜接觸會導致嚴重燒傷。在水中發生反應。
生產方法
化學方程式
三氯氫硅加氫還原制備多晶硅中，尾氣中可提取二氯二氫硅。得到的二氯二氫硅經精餾、絡合、純化、吸附等工藝，可得到電子級二氯二氫硅。
參考資料 >