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二氯硅（化學式：H2SiCl2，簡稱：DCS）是一種無機化合物，相對分子量為101.007。它是一種易燃物質，其蒸氣可與空氣形成爆炸性混合物，遇熱源和明火有燃燒爆炸的危險。二氯硅烷與鹵族元素及其它氧化劑劇烈反應，遇水或蒸汽劇烈反應，生成鹽酸煙霧。二氯硅烷的主要用途是在半導體生產中，在化學氣相沉積室中與氨混合，可以生長氮化硅薄膜。
理化特性
二氯硅烷主要成分 純品，是無色氣體，易溶于苯、乙醚等多數有機溶劑，多用于合成硅的有機化合物。熔點122℃、沸點8.3℃、相對密度(水=1) 1.26、相對蒸氣密度(空氣=1) 3.59、飽和蒸氣壓(kPa) 16.716(20℃)、自燃溫度(℃) 58、爆炸上限%(V/V) 99.0、爆炸下限%(V/V) 4.1。
危害危險
燃爆危險：本品易燃，有毒，具腐蝕性、刺激性，可致人體灼傷。
健康危害：對上下呼吸道、皮膚和眼睛有腐蝕性和刺激性。本品遇水或空氣中的水份迅速水解形成氯化氫（鹽酸）。鹽酸可致皮膚灼傷和粘膜刺激。接觸后表現有流淚、咳嗽、咳痰、呼吸困難、流涎等。可引起肺炎或肺水腫。眼接觸可致灼傷，導致失明。
參考資料 >