來源：互聯(lián)網(wǎng)
利用四氯化硅生產(chǎn)三氯氫硅從技術路線上看，氯氫化技術比熱氫化技術更為理想和先進。它是將四氯化硅、氯化氫、氫氣與硅粉在500℃溫度下反應生成三氯氫硅。
正文
該技術具有以下優(yōu)點：裝置單一、投資小、占地少；反應溫度低、操作穩(wěn)定；對原料純度要求低，多晶硅生產(chǎn)過程中副產(chǎn)的二氯硅烷可與四氯化硅發(fā)生反歧化反應生成三氯氫硅；轉化率高、能耗低，每生產(chǎn)1噸三氯氫硅耗電850～1000千瓦時。
氯氫化技術成功地將多晶硅生產(chǎn)過程中副產(chǎn)的四氯化硅、氯化氫、二氯硅轉化為三氯氫硅，實現(xiàn)了多晶硅生產(chǎn)的密閉循環(huán)，避免了污染物排放，是一種理想的生產(chǎn)技術。
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