打線接合(英語:Wire bonding)是一種集成電路封裝產(chǎn)業(yè)中的制程之一,利用線徑15-50微米的金屬線材將芯片(chip)及導(dǎo)線架(lead frame)連接起來的技術(shù),使微小的芯片得以與外面的電路做溝通,而不需要增加太多的面積。其他類似的接合技術(shù)如覆晶接合(Flip-chip)或卷帶式自動接合(Tape-Automated Bonding, TAB)都已經(jīng)越趨成熟,雖然覆晶接合逐漸在吞食打線接合的市場,但目前仍以打線接合為最常見的接合技術(shù)
打線接合
無論是何種打線接合的方法,都具有兩個焊接點,分別是位于芯片端的第一焊(First bond)及導(dǎo)線架端的第二焊(Second bond)。瓷嘴(capillary)是一種裝在打線機(jī)上的裝置,可讓線材穿過其中,類似縫紉機(jī)中的針,線材穿過位在打線機(jī)臺上的瓷嘴,穿出瓷嘴的線材在芯片端經(jīng)過下壓完成第一焊點后,線材就會與芯片上的基板連結(jié),機(jī)器手臂上升將線引出瓷嘴,再將線材移往第二焊點,也就是導(dǎo)線架上的基板,一邊下壓一邊截斷線材,完成一個循環(huán),緊接著再繼續(xù)下一打線接合的循環(huán)。為了增加接合強(qiáng)度,在第二焊接點處,再壓上一顆球,稱之為BBOS(Bond Ball on Stitch);或先壓上一顆球,再把第二焊接合在球上,稱為BSOB(Bond Stitch on Ball)。
瓷嘴
依照不同形狀的瓷嘴形狀,可將接合方式分為兩種,分別為楔型接合(wedge bonding)及球型接合(ball bonding),兩者擁有截然不同的第一焊點及第二焊點,因此具有不同的空間特性。
楔型接合
楔型接合是將突出于瓷嘴的線材直接下壓至基板上,由于第一焊的限制,第二焊點的位置被限制在沿著第一焊接腳的方向上,無法如球型接合一樣自由,也因為如此,楔型接合的高度通常較球型接合來得小,外觀如拋物線一樣,焊點寬度約為1.5倍的線徑。
球型接合
球型接合則是先經(jīng)過一個放電制程,稱為放電結(jié)球(Electronic flame off, EFO),利用高壓電放電,將凸出瓷嘴的線熔化,因為表面張力的關(guān)系,金屬液體會凝固成一個球狀物,此時再下壓至基板上,接著引線向上,經(jīng)過一個設(shè)定好的路徑,繞至第二焊點,直接下壓將線壓斷形成第二焊點,此魚尾形狀的第二焊點類似于楔型接合的焊點,常被誤認(rèn)為楔型接合。由于第一焊點的線材與基板呈現(xiàn)垂直的角度,因此第二焊點可自由選擇位置,不會受到第一焊位置的限制。此制程含有放電結(jié)球的步驟,因此稱之為球型接合,其焊點較楔型接合來得大,約2.5-5.0倍的線徑。有時候為了降低球型接合的高度,會將一二焊位置交換,將二焊點接合在芯片上,使線材高度下降,業(yè)界稱為反打。
接合技術(shù)
打線接合發(fā)展已經(jīng)很久,依照接合力的來源可分為三種,分別為熱壓接合(Thermocompression bonding)、超音波接合(Ultrasonic bonding)及熱音波接合(Thermosonic bonding)。
熱壓接合
貝爾實驗室在1957年發(fā)展一種物理連接技術(shù),運(yùn)用加熱及加壓,配合適合的下壓時間,將金屬線材連接至單晶線表面,利用此種方法,將金鍺兩金屬接合的溫度只需要250℃,較金鍺共晶溫度356℃來得低,因此在早期的打線接合是廣泛應(yīng)用的技術(shù)。
超音波接合
由于部分基板不適合加熱,因此1966年發(fā)展出另一項技術(shù),在接合的同時導(dǎo)入一超音波,除了接合之外還可協(xié)助清潔基板表面,此種方法可在室溫下操作,由于不須加熱即可達(dá)到與熱壓接合相同的效果,因此逐漸取代熱壓接合成為主流。
熱音波接合
結(jié)合兩者的優(yōu)缺點,同時導(dǎo)入熱及超音波來接合,稱為熱音波接合。熱音波接合的溫度約控制在100-150℃,下壓力也遠(yuǎn)低于超音波接合,可避免下壓力過大傷害基板,亦可避免溫度過高形成金屬間化合物。
接合材料
金
接合的基板通常是鋁薄膜,早期常用鋁線作為接合材料,鋁線雖便宜但易氧化,導(dǎo)電性也不是最好的,在封裝產(chǎn)業(yè)的可靠度要求越來越高的同時,使用不易氧化的貴金屬逐漸成為趨勢。金線具有良好的導(dǎo)電性及不易氧化的特性,加上其良好的延展性,在微米級線材制作上不易斷裂,逐漸取代鋁線成為主流。但金線的價格高昂,在低成本及金價飆漲的同時,主流地位逐漸被取代。金線是以高純度為主,但還是會添加極為微量的元素增加線材強(qiáng)度,一般來說都還可以維持在4N以上的純度。
銅
銅線,雖然是易氧化的材料,但其高強(qiáng)度的特性,可將線材制作到更細(xì)的線徑但維持相同的強(qiáng)度,銅鋁生成金屬間化合物的速度也是金鋁的十分之一,金屬間化合物是兩種金屬接觸而生成的化合物,會增加物件的電阻并產(chǎn)生熱,導(dǎo)致物件更快失效,因此采用銅線可以避免電阻大量升高并增加可靠度。銅線的高強(qiáng)度,可使線材挑戰(zhàn)更高難度的連接形狀,如封裝層疊。雖然銅線價格低廉,但其易氧化的特性容易使芯片失效,因此在外層鍍上一層抗氧化的薄膜逐漸成為主流線材。因此,銅線的發(fā)展主要是以鍍層線及超高純度銅線為主流,其中鍍層線又以鈀金屬為最大宗,一般厚度都在100nm以下,通常主打低電阻的半導(dǎo)體封裝,因此會使銅線整體電阻上升的合金銅線不被考慮。
銀
銀線具有與金線接近的機(jī)械性質(zhì),具有較銅線優(yōu)良的抗氧化特性,在LED的封裝中,其優(yōu)良的反光特性可增加約10%的光量,逐漸被應(yīng)用在部分的封裝中。銀線在放電結(jié)球時,可形成非常圓的球,銀線與鋁基板的接合效果也非常好,金屬間化合物的生成也相對較少,可以增加其接合的可靠度。銀線的主流為合金線,銀含量越高代表其電阻率越低,而可能會影響其接合品質(zhì),但其優(yōu)異的反光特性,使其較常被應(yīng)用在LED封裝制程,其電阻率就不是最重要的考量因素,一般來說銀合金線的主成分通常為可互溶的銀金鈀三元素,依比例不同有不同的電阻率及功效。鍍層銀線也是一種被考慮的線材,通常選用的鍍層為金,由于芯部為純金屬銀,因此仍保有純銀的超低電阻特性,可提供給各種封裝形式使用。
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