薄膜電阻是一種利用蒸發(fā)法將特定電阻率材料蒸鍍于絕緣材料表面制成的電子元件。這種電阻器通常使用陶瓷基板作為絕緣材料。薄膜電阻在網(wǎng)絡(luò)核心運(yùn)算放大器和高精度數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換電路中有廣泛應(yīng)用。
制作原理
薄膜電阻的形成本質(zhì)上是氣-固轉(zhuǎn)化和晶體生長的過程。這一過程可分為若干個(gè)主要步驟，包括原子或分子撞擊固體表面、吸附或反射、遷移至合適的位置并加入晶格。這些過程及其相互作用決定了薄膜的形成過程和性質(zhì)。電阻薄膜通常包含絕緣相、半導(dǎo)體相和導(dǎo)電相等多種相位成分，且這些相位成分常呈微細(xì)分布，以獲得更好的性能。
熱處理
電阻薄膜的熱處理旨在形成一定數(shù)量的絕緣相，以改善薄膜的溫度性能和長期穩(wěn)定性。熱處理可以通過消除非平衡缺陷和介穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)來改善薄膜結(jié)構(gòu)，使其由亞穩(wěn)態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榉€(wěn)定狀態(tài)。適當(dāng)?shù)臒崽幚項(xiàng)l件，如溫度、時(shí)間和氣氛的選擇，對(duì)薄膜性能的穩(wěn)定至關(guān)重要。
材料分類
薄膜電阻的材料種類豐富，包括純金屬、金屬合金、金屬化合物或金屬陶瓷等。在單片模擬集成電路和薄膜混合電路中，常用的材料有鎳鉻、鉻硅和鉻一氧化硅，分別屬于低阻和高阻類別。
工藝特點(diǎn)
薄膜電阻與厚膜電阻器的主要區(qū)別在于膜厚和制造工藝。薄膜電阻的膜厚通常小于10μm，而厚膜電阻的膜厚一般大于此數(shù)值。薄膜電阻的制造工藝包括真空蒸發(fā)、磁控濺射等，而厚膜電阻則采用絲網(wǎng)印刷工藝。這兩種工藝的差異導(dǎo)致了電阻器在性能上的顯著不同，薄膜電阻具備更高的精度和更低的溫度系數(shù)，適用于各種精密電子設(shè)備。
應(yīng)用
薄膜電阻器因其優(yōu)異的性能，在航空航天、國防工業(yè)以及電子計(jì)算機(jī)、通信儀器等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
參考資料 >
什么是薄膜和厚膜電阻?薄膜和厚膜電阻之間的區(qū)別.電子發(fā)燒友.2024-11-06
薄膜電阻. 百度文庫.2024-11-06
薄膜電阻常見種類 薄膜電阻與厚膜電阻的主要區(qū)別.與非網(wǎng).2024-11-06