西安電子科技大學微電子研究所，創建于1987年，隸屬于西安電子科技大學，下屬4個研究室：半導體器件與電路可靠性研究室，新型器件和新工藝研究室，計算機輔助設計與專用集成電路研究室，微電子實踐中心，現任所長為張義門教授。
簡介
西安電子科技大學微電子研究所是學校直屬的重點科研和教學機構之一。它是在半導體器件與微電子學學科基礎上于1987年創建的。微電子研究所下屬4個研究室：半導體器件與電路可靠性研究室，新型器件和新工藝研究室，計算機輔助設計與專用集成電路研究室，微電子實踐中心。現有教師和科技人員54人，其中教授10人，副教授和高級工程師13人，博士學位獲得者4人，在職攻讀博士學位的3人，碩士學位獲得者20余人，形成了力量較強的并且比較合理的科研、教學和人才培養的技術力量梯隊。現任所長為張義門教授。
半導體器件與微電子學學科站建于1959年，經過37年，已經建成一個學術梯隊結構合理，研究方向有特色，學術空氣濃厚，有較好的科研和教學基礎設施的學科。西安電子科技大學微電子學院是國家集成電路人才培養基地。
西安電子科技大學微電子學院是在原微電子研究所及技術物理學院微電子系的基礎上組建而成，是科技部資助的5個國家集成電路人才培養基地之一。
1981年開始招收碩士研究生，1986年被國務院學位委員會授予碩士學位授予權，1990年被評為機電部部級重點學科，是西安電子科技大學今后重點支持和發展的學科之一。
該所主要研究方向為：半導體器件與電路的可靠性技術；新型半導體薄膜材料和器件技術；集成電路計算機輔助設計和專用集成電路。“八五”以來，本學科先后承擔了國家攻關、863計劃、自然科學基金、軍事預研、國防預研基金、部委基金以及地方政府或企業委托的科研項目，取得了一批成果。其中，獲得國家和省部級獎勵25項；國家級獎勵1項；省部級一等獎2項，二等獎4項，三等獎18項；在國內外學術刊物和重要學術會議上發表論文353篇；出版專著、統編教材、譯著16部；已培養碩士研究生60余名，目前在校研究生近30名。
微電子學研究所擁有全套半導體器件研制生產線設備，各種測量儀器儀表和集成電路分析與設計設備等共計445臺，資產總值約345萬元。
發展狀況
近年來，中國科學院微電子研究所承擔完成了國家自然科學基金、國家科技攻關、“863”高技術項目、裝備預研計劃等國家級和部省級以上科研項目80余項，取得了一大批達到國際先進水平和國內領先水平的科研成果。獲得國家科學技術進步獎和國家發明獎4項，部(省)級科技進步獎40余項。
微電子所具有優良的科研和教學條件，擁有科研實驗用房1600平方米，擁有一批進口測試儀器和ECRCVD、光CVD等國內先進工藝設備以及一條完整的集成電路研制生產線，擁有若干臺SUN圖形工作站及百余臺各種高檔微機。
參考資料 >
西安電子科技大學微電子研究所.www.cnki.com.cn.2012-09-08