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金屬靶材是指用于高速荷能粒子轟擊的目標材料,包括金屬類、合金類、氧化物類等多種類型。
材料介紹
金屬靶材在不同領域的應用十分廣泛,通過更換不同的靶材種類,可以制備出具有特定特性的薄膜。例如,在蒸發磁控濺射鍍膜過程中,使用鋁靶可以獲得鋁膜,而使用其他類型的靶材則可以制備出具有超硬、耐磨、防腐等特性的合金膜。
鎢鈦合金
鎢鈦合金是一種重要的金屬靶材,常被應用于顯示屏的阻擋層或調色層,以及筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝等領域。
W-Ti靶材規格
W-Ti靶材在國內產品的規格方面達到了最高水平,其中矩形靶材的最大尺寸為L800mm × W200mm × H客戶自選厚度,圓形靶材的最大直徑為Ф460mm × H客戶自選厚度。此外,W-Ti靶材的密度≥99.9%TD,純度≥99.995%,這些指標均處于國際先進水平。
應用
鎢鈦(W-Ti)膜及其合金膜因其獨特的性能而在多個領域有著廣泛應用。它們不僅具有高溫合金的特點,而且鎢的高熔點、高強度和低燒膨脹系數特性,以及W/Ti合金的低電阻系數、良好熱穩定性和抗氧化性,使得W-Ti合金成為理想的布線擴散阻擋層材料,尤其適用于高電流和高溫環境下的應用。
發展前景
鎢-鈦靶材作為一種新興的光伏電池鍍膜材料,具有廣闊的發展前景。隨著光伏產業的迅速發展,對W-Ti靶材的需求預計將大幅增加。中國自主研發的大尺寸、高密度、高純W-Ti靶材,不僅在顯示屏幕、計算機裝飾、電池封裝等方面具有良好的市場前景和經濟效益,同時也有望推動中國鎢產業的產品升級換代,提升產品的附加價值。
參考資料 >