這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個(gè)數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動(dòng)真空。真空腔體(vacuum chamber)為一密閉剛體，其內(nèi)因接真空泵而無(wú)氣，維持低壓狀態(tài)，即俗稱(chēng)的真空。真空環(huán)境允許進(jìn)行物理實(shí)驗(yàn)、測(cè)試太空設(shè)備、真空干燥和鍍膜等操作。
基本簡(jiǎn)介
產(chǎn)品的特點(diǎn)有改善的機(jī)臺(tái)定位的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)響應(yīng)，抽氣時(shí)間、穩(wěn)定時(shí)間縮短等等。New Way Air Bearings Inc. 設(shè)計(jì)的真空腔體通常由金屬制成，這些金屬根據(jù)其厚度、電阻率和液氣體通透性的不同，可能會(huì)阻擋不同頻率的外加磁場(chǎng)。真空腔體通常配備多個(gè)真空法蘭封閉的接口，以便安裝儀器或窗口。在中低真空應(yīng)用中，窗口可能使用彈性體或O形環(huán)等高分子材料密封，而高真空應(yīng)用則需要焊接硬質(zhì)鋼刀于法蘭上，以嵌入銅墊片實(shí)現(xiàn)密封。
真空腔體材料
真空腔體可以使用多種不同材料制造，其中金屬是最常見(jiàn)的材料。選擇腔體材料時(shí)，需要考慮材料的強(qiáng)度、耐壓能力以及對(duì)液體或氣體的通透性。常見(jiàn)的腔體材料包括不銹鋼、鋁、低碳鋼、低碳鋼、黃銅、高密度陶瓷、玻璃和聚甲基丙烯酸甲酯。
熱真空腔體應(yīng)用
熱真空腔體是真空腔體的一種，它經(jīng)常用于太空載具工程領(lǐng)域。這種腔體能夠模擬太空載具在外層空間將會(huì)面臨的環(huán)境條件，對(duì)于測(cè)試和驗(yàn)證太空設(shè)備的性能至關(guān)重要。
參考資料 >