高飛，男，大連理工大學物理與光電工程學院等離子體物理副教授，同時擔任物理學院副院長、三束材料改性教育部重點實驗室副主任。他是大連理工大學星海人才培育計劃“星海優(yōu)青”入選者，也是射頻等離子體模擬和實驗團隊的核心成員。高飛教授的研究領域主要集中在射頻等離子體物理過程及與材料相互作用，特別是在IC裝備制造產(chǎn)業(yè)和磁約束核聚變中性束注入系統(tǒng)中的應用。他曾獲得大連市科學技術(shù)獎一等獎，并在科研項目上取得了顯著成果，主持和參與的項目總經(jīng)費超過兩千萬元。
個人經(jīng)歷
2014.12~至今 大連理工大學 物理與光電工程學院 等離子體物理 副教授
2014.01~2014.11 大連理工大學 物理與光電工程學院 等離子體物理 講師
2012.02~2013.12 大連理工大學 物理與光電工程學院 光學工程 師資博士后
2007.09~2011.12 大連理工大學 物理與光電工程學院 等離子體物理 攻讀博士
2003.09~2007.07 大連理工大學 物理與光電工程學院 光信息科學與技術(shù) 攻讀學士
研究方向
射頻感性耦合等離子體物理
大功率負氫離子源物理
離子束與等離子體相互作用
高功率微波等離子體物理
學術(shù)成果
論文成果
高飛,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio 頻率 Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. APPL Phys.,2019,125:23303-23303
左春彥,高飛,戴忠玲,王友年高功率微波輸出窗內(nèi)側(cè)擊穿動力學的PIC/MCC模擬研究[J],物理學報,2018,22:340-350
Li, Jian-quan,Lu, Wen-qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-nian.A comparative study of emissive probe techniques for vacuum space potential measurements[J],VACUUM,2018,155:566-571
Yang, Wei,Li, Hong,Gao, Fei,Wang, You-Nian.A global model study of the population 動力學 of molecular 氫 and the generation of negative hydrogen ions in low-壓強 ICP discharge with an expansion region: effects of EEPF[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(7)
Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-頻率 capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)
Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)
發(fā)明專利
一種細長管射頻感應耦合等離子體源反應器
Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge
一種基于射頻放電的正負離子源
一種適用于低氣壓甚高頻放電中交變磁場強度測量的探針
提高等離子體徑向均勻性的等離子體腔室
一種減少基片材料受高能離子轟擊損傷的方法
科研項目
CFETRN-NBI負離子源仿真優(yōu)化設計及實驗評估, 國家科技部 , 2017/07/01, 進行中
高功率微波輸出窗真空及不同氣壓下等離子體放電模擬研究, 其他課題, 2015/10/30-2016/10/30, 已完成
面向刻蝕工藝的脈沖調(diào)制射頻感應耦合等離子體源的特性研究, 國家自然科學基金項目, 2016/08/17, 進行中
寬能域離子束在等離子體中的能量沉積及其激發(fā)的自調(diào)制不穩(wěn)定性和尾波場, 國家自然科學基金項目, 2015/09/01, 進行中
射頻感應耦合等離子體對材料表面上原子再復合行為的影響, 國家自然科學基金項目, 2012/09/25, 已完成
高功率微波窗擊穿診斷研究, 其他課題, 2018/01/29, 進行中
參考資料 >
大連理工大學主頁平臺管理系統(tǒng)高飛.大連理工大學.2024-03-24
大連理工大學主頁平臺.大連理工大學.2024-03-24