丙硅是一種英文名稱為Trisilane、Trisilico丙烷、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane的化學(xué)物質(zhì)。它的主要用途為半導(dǎo)體硅膜制造、非晶硅制造。
簡介
英文名
Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane．
用途
半導(dǎo)體硅膜制造、非晶硅制造。
理化性質(zhì)
液體密度(-117.4℃)： 725kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)：4.15kg/m3
粘度(20℃)：0.00318 Pa·s
基本概況
丙硅烷在常溫常壓下為可燃性有毒液體。它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì)，但其反應(yīng)性比硅烷和乙硅烷更強(qiáng)。在空氣中能自燃。它在空氣中的爆炸范圍不詳，但是可以估計(jì)、比硅烷的爆炸范圍還大。因此，當(dāng)把它與空氣接觸時(shí)，為安全起見，必須把濃度控制存0.1%以下。丙硅烷的熱穩(wěn)定性也比硅烷差，靠其放電能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水，不與酸反應(yīng)，但能與堿反應(yīng)生成硅酸和氫。與單體鹵素激烈反應(yīng)。它無腐蝕性。
毒性及其安全防護(hù)
丙硅烷容器要存放在陰涼通風(fēng)良好之處，要遠(yuǎn)離熱源和火種，要與其它可燃性物質(zhì)和腐蝕性藥品隔離，庫溫不宜超過40℃，避免陽光直射。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，嚴(yán)防容器受撞擊。
著火時(shí)要切斷氣源，通惰性氣體以控制火勢，單純靠滅火劑來滅火是不行的。
排放丙硅烷廢氣時(shí)，必須是在完全分解之后排放，或者是在嚴(yán)格控制之下燃燒掉。具體的作法如下：
(1)導(dǎo)入液化石油氣等連續(xù)燃燒的火焰中，使其一同燃燒掉。
(2)通入堿性水溶液中，使其全部水解。
(3)通入堿金屬(Na、Li等)的低級醇溶液中(約0.5%)，使其水解。
參考資料 >