聚倍半硅氧烷是較為特殊的一類硅氧聚合物，其聚合物主體組成為（RSiO1.5）n，其高分子結構可呈梯形、樹枝型或燈籠型等結構。與一般的有機硅化物聚硅氧烷相比較，聚硅倍半氧烷具有更高的耐熱性和更低的表面能，適用于耐高溫涂料的基料，還可以用作高分子液晶材料。
由三官能有機硅單體經水解縮合等反應制得聚硅倍半氧烷，當其中的有機基團是苯基時，由于空間位阻效應等影響，其水解產物經催化重排反應，可促使形成規則的立體有序梯形結構。
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