上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（曾用名：上海微電子裝備有限公司），簡(jiǎn)稱(chēng)SMEE，于2002年成立于上海，董事長(zhǎng)干頻為法人代表。是一家從事半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投影光刻機(jī)研發(fā)和生產(chǎn)為主的企業(yè)。
上海微電子裝備（集團(tuán)）Inc.主要從事半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)。企業(yè)產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。該公司是由上海電氣控股集團(tuán)有限公司，以及上?？萍纪顿Y股份公司等機(jī)構(gòu)聯(lián)合創(chuàng)立。2008年，企業(yè)承擔(dān)的“十五計(jì)劃光刻機(jī)重大科技專(zhuān)項(xiàng)”，通過(guò)了中國(guó)科技部組織的驗(yàn)收。2009年，企業(yè)生產(chǎn)的首臺(tái)先進(jìn)封裝光刻機(jī)產(chǎn)品SSB500交付用戶(hù)，該產(chǎn)品被中國(guó)科技部批準(zhǔn)為“2011年度國(guó)家級(jí)重點(diǎn)新產(chǎn)品計(jì)劃項(xiàng)目”。
2018年，上海微電子裝備生產(chǎn)可用于90納米半導(dǎo)體制程的600系列光刻機(jī)，獲評(píng)第20屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)銀獎(jiǎng)。2019年，用于LED制造的300系列光刻機(jī)入選中國(guó)制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品名錄。2022年1月28日，國(guó)家發(fā)展改革委等部門(mén)關(guān)于印發(fā)2021年（第28批）新認(rèn)定及全部國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心名單的通知顯示：該企業(yè)技術(shù)中心具有國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心資格。2025年12月25日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司中標(biāo)zycgr22011903采購(gòu)步進(jìn)掃描式光刻機(jī)項(xiàng)目，設(shè)備數(shù)量為一臺(tái)，成交金額10999.985萬(wàn)元。
歷史沿革
2002年3月，在中國(guó)科技部和上海市政府共同推動(dòng)下，由上海電氣控股集團(tuán)有限公司，以及上?？萍纪顿Y股份公司等機(jī)構(gòu)聯(lián)合創(chuàng)立了上海微電子裝備有限公司，主要從事半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的中高端投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售等業(yè)務(wù)。
在2003年，企業(yè)投資2.28億元成立了全資子公司上海威耀實(shí)業(yè)有限公司；次年，又投資2.5億，成立了全資子公司上海東墅投資發(fā)展有限公司；到了2006年，企業(yè)接著投資1.7億元，成立了全資子公司上?，F(xiàn)代先進(jìn)超精密制造中心有限公司。
2008年11月，上海微電子裝備承擔(dān)的“十五計(jì)劃光刻機(jī)重大科技專(zhuān)項(xiàng)”，通過(guò)了中國(guó)科技部組織的驗(yàn)收。同年，企業(yè)被評(píng)為上海市知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)。次年12月，企業(yè)生產(chǎn)的首臺(tái)先進(jìn)封裝光刻機(jī)產(chǎn)品SSB500/10A交付用戶(hù)。
到了2011年，企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的SSB500系列光刻機(jī)，被中國(guó)科技部批準(zhǔn)為“2011年度國(guó)家級(jí)重點(diǎn)新產(chǎn)品計(jì)劃項(xiàng)目”。次年5月該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了海外銷(xiāo)售，6月獲評(píng)第14屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)金獎(jiǎng)。接著在2016年6月中國(guó)首臺(tái)用于平板顯示的SSB225投影曝光機(jī)成功交付用戶(hù)。該產(chǎn)品被中國(guó)科技部評(píng)為“2014年度國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品”，在2016年，公司應(yīng)用于平板顯示的SSB245高分辨率投影曝光機(jī)獲第18屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)金獎(jiǎng)。
2017年1月，該企業(yè)完成股份制改革，正式更名為上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司；同期，其承擔(dān)的國(guó)家02重大科技專(zhuān)項(xiàng)“浸沒(méi)光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)預(yù)研項(xiàng)目”通過(guò)驗(yàn)收。同年年底，上海微電子啟動(dòng)首次公開(kāi)發(fā)行股票并上市的輔導(dǎo)程序，由中信建投擔(dān)任輔導(dǎo)機(jī)構(gòu)；2024年10月，公司因市場(chǎng)環(huán)境與監(jiān)管政策變化，撤回IPO輔導(dǎo)備案。
2018年，90nm光刻機(jī)項(xiàng)目在通過(guò)驗(yàn)收的同時(shí)，600系列IC前道投影光刻機(jī)，還獲了第20屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)銀獎(jiǎng)。次年，SSB300系列光刻機(jī)入選制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品名錄。2020年1月，公司獲得“第三屆浦東新區(qū)區(qū)長(zhǎng)質(zhì)量獎(jiǎng)”。2020年10月20日，獲得上海知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新獎(jiǎng)創(chuàng)造獎(jiǎng)。2023年9月6日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司發(fā)生工商變更，注冊(cè)資本由約1.74億人民幣增至約2.66億人民幣，增幅約52.63%。
2024年9月10日，上海微電子公布一則發(fā)明專(zhuān)利《極紫外輻射發(fā)生裝置及光刻設(shè)備》，內(nèi)容涉及極紫外輻射（EUV）發(fā)生裝置及光刻設(shè)備。EUV光刻機(jī)采用13.5nm波長(zhǎng)極紫外光，可實(shí)現(xiàn)8nm曝光分辨率用于先進(jìn)制程芯片制造，技術(shù)難點(diǎn)在光學(xué)系統(tǒng)、光源等關(guān)鍵子系統(tǒng)。本次專(zhuān)利主要涉及EUV光源和光刻設(shè)備，其中極紫外輻射發(fā)生器（光源）包括腔體、靶材發(fā)生器、激光發(fā)生器、收集鏡、電極板、氣控部件等關(guān)鍵部件。2025年5月，上海微電子交付首臺(tái)28nm浸沒(méi)式光刻機(jī)（型號(hào)SSA800/10i），該設(shè)備采用ArFi技術(shù)，等效分辨率達(dá)13.4nm，可通過(guò)多重曝光工藝滿(mǎn)足7nm制程需求。9月23日，在第二十五屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)上，上海微電子展臺(tái)上首次公開(kāi)亮相了極紫外(EUV)光刻機(jī)參數(shù)圖。
2025年12月25日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司中標(biāo)zycgr22011903采購(gòu)步進(jìn)掃描式光刻機(jī)項(xiàng)目，設(shè)備數(shù)量為一臺(tái)，成交金額10999.985萬(wàn)元。值得注意的是，此次的貨物型號(hào)為SSC800/10，其中“SSC”為首次公開(kāi)的光刻機(jī)型號(hào)代號(hào)。代號(hào)中，“SS”或代表“步進(jìn)掃描式”，為當(dāng)前主流精密制程的半導(dǎo)體極紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）光刻機(jī)的機(jī)械工作方案。從采購(gòu)方式來(lái)看，“單一來(lái)源采購(gòu)”或表示該項(xiàng)目的先進(jìn)性。根據(jù)《政府采購(gòu)法》，“單一來(lái)源采購(gòu)”的情況，僅被允許在因貨物或服務(wù)使用了不可替代的專(zhuān)利、專(zhuān)有技術(shù)，或者公共服務(wù)項(xiàng)目有特殊要求，導(dǎo)致只能從某一特定供應(yīng)商處采購(gòu)；包括不可預(yù)見(jiàn)的緊急情況；保證原有項(xiàng)目一致性或服務(wù)配套；以及招標(biāo)失敗等情況。
企業(yè)治理
董事會(huì)
資料來(lái)源
主要股東
資料來(lái)源
分支機(jī)構(gòu)
資料來(lái)源
企業(yè)業(yè)務(wù)
主營(yíng)業(yè)務(wù)
企業(yè)主要從事半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)。其產(chǎn)品覆蓋集成電路制程設(shè)備、平板顯示制程設(shè)備、光學(xué)量/檢測(cè)設(shè)備三類(lèi)。企業(yè)產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。其中，前道光刻機(jī)（SSX600系列）可滿(mǎn)足集成電路前道制造中110nm、280nm關(guān)鍵層及非關(guān)鍵層的光刻工藝需求；后道封裝光刻機(jī)包含新一代大視場(chǎng)高分辨率SSB520型先進(jìn)封裝光刻機(jī)，該機(jī)型可滿(mǎn)足異構(gòu)集成超大芯片封裝尺寸的應(yīng)用需求。
經(jīng)營(yíng)范圍
半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)，經(jīng)營(yíng)本企業(yè)自產(chǎn)產(chǎn)品的出口業(yè)務(wù)和本企業(yè)所需的機(jī)械設(shè)備、零配件、原輔材料的進(jìn)口業(yè)務(wù)（但國(guó)家限定公司經(jīng)營(yíng)或禁止進(jìn)出口的商品及技術(shù)除外）等，以及依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。
科研成果
數(shù)據(jù)來(lái)源
主要產(chǎn)品
資料來(lái)源
企業(yè)文化
企業(yè)標(biāo)志
參考資料
企業(yè)理念
創(chuàng)新為企業(yè)的生命。
企業(yè)口號(hào)
高素質(zhì)、高科技、高品質(zhì)、高效率。
企業(yè)愿景
承擔(dān)社會(huì)責(zé)任，建設(shè)美好生活。
社會(huì)責(zé)任
2010年，由上海微電子裝備賀榮明總經(jīng)理倡議的“為青海玉樹(shù)地震災(zāi)區(qū)人民獻(xiàn)愛(ài)心，支持災(zāi)區(qū)救災(zāi)和重建工作”的募捐活動(dòng)中，共收到捐款40180元。
企業(yè)榮譽(yù)
資料來(lái)源
企業(yè)評(píng)價(jià)
上海微電子裝備成立于2002年，相比尼康株式會(huì)社、ASML等前輩，屬于光刻機(jī)里的“后浪”。但從競(jìng)爭(zhēng)格局看，上海微電子裝備的光刻機(jī)沒(méi)有國(guó)產(chǎn)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。（界面新聞評(píng)）
在技術(shù)要求方面，雖然后道光刻機(jī)的技術(shù)含量要比前道低，但上海微電子的封 裝光刻機(jī)產(chǎn)品實(shí)力位列全球前列。據(jù)了解，先進(jìn)封裝光刻機(jī)是上海微電子的主打產(chǎn)品，全球市場(chǎng) 占有率連續(xù)多年排名第一。（中國(guó)經(jīng)營(yíng)報(bào)評(píng)）
先進(jìn)封裝是當(dāng)前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體發(fā)展的重要方向之一，上海微電子先進(jìn)封裝機(jī)問(wèn)世，大大地鼓 舞了國(guó)產(chǎn)替代的進(jìn)程。（深度科技研究院院長(zhǎng)張孝榮評(píng)）
上海微電子的光刻機(jī)主 要應(yīng)用于 200/300 毫米集成電路先進(jìn)封裝領(lǐng)域，包括 2.5D/3D 等先進(jìn)封裝形式，可滿(mǎn)足 RDL（重 新布線(xiàn)）等制程的晶圓級(jí)光刻工藝需求?？傮w來(lái)說(shuō)，后道光刻機(jī)難度不大，能做的廠(chǎng)商很多，從指標(biāo) 看，上海微電子在后道光刻機(jī)方面還是比較領(lǐng)先的。（電子創(chuàng)新網(wǎng) CEO 張國(guó)斌評(píng)）
重要事件
2022年12月，為一步阻撓和打壓中國(guó)科技行業(yè)的發(fā)展，美國(guó)政府將上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司列入了“實(shí)體清單”。
2023年12月22日，北京燕東微電子股份有限公司在回答投資者提問(wèn)時(shí)，確認(rèn)同上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司簽訂了2億元的光刻機(jī)采購(gòu)合同，同時(shí)還確認(rèn)所采購(gòu)的光刻機(jī)將用于8英寸線(xiàn)生產(chǎn)。
參考資料 >
天眼查.天眼查.2023-12-25
上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司.smee..2023-12-25
上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司.smee.2023-12-26
2002.03 上海微電子裝備有限公司在張江高科技園區(qū)正式成立。..smee.2023-12-26
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市政府新聞發(fā)布會(huì)介紹2013中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)籌備情況.中國(guó)上海.2023-12-26
“單一來(lái)源采購(gòu)”！上海微電子1.1億中標(biāo)科技部采購(gòu)光刻機(jī)項(xiàng)目.百家號(hào).2025-12-25
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上海微電子增資至2.66億元.界面新聞.2025-03-07
光刻機(jī)概念爆發(fā)，同飛股份、波長(zhǎng)光電漲停，藍(lán)英裝備等大漲.百家號(hào).2024-09-18
股價(jià)屢創(chuàng)新高 光刻機(jī)與被科技估值的張江高科.百家號(hào).2025-10-16
國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，爆發(fā)元年!600895，歷史新高，這些潛力股要起飛.證券時(shí)報(bào)網(wǎng).2025-09-28
光刻設(shè)備.上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司.2025-11-10
SSX600系列光刻機(jī).上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司.2025-11-24
上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司.上微.2023-12-25
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上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司-新聞查看.上海微電子 .2023-12-26
工業(yè)和信息化部 財(cái)政部關(guān)于公布2016年國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)名單的通知.中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部.2025-01-24
7家單位榮獲上海知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新獎(jiǎng).央廣網(wǎng).2025-03-07
2022上海硬核科技企業(yè)TOP100榜單發(fā)布.新浪財(cái)經(jīng).2025-02-15
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濫用出口管制措施!美國(guó)政府將長(zhǎng)江存儲(chǔ)等36家中國(guó)企業(yè)列入實(shí)體清單.新浪財(cái)經(jīng).2025-03-07
燕東微:公司采購(gòu)的光刻機(jī)用于8英寸線(xiàn)生產(chǎn).10jqka.2023-12-25