常用的氯硅單體包括甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷、苯基三氯硅烷等。氯硅烷類化合物（Chlorosilanes 化合物）的物理化學特性為該類化合物大多系揮發性物質。沸點低，比重大。 當空氣中達到一定濃度時則引起爆炸，受水分作用后釋出氯化氫。
氯硅烷類化合物大多具有強烈的刺激性，其毒作用除單體本身外，還與其水解產物氯化氫有關。急性吸入毒性屬低毒類，毒作用帶較窄。
制備氯硅烷類化合物時，以氯甲烷和硅為原料，在銅催化劑存在條件，可形成多種甲基氯硅烷，若用氧乙烷，氯苯與硅反應，可相應得到乙基氯硅烷、醋基氯硅烷。反應器可用攪拌流化床或錐形流化床，一般單程度轉化率為30%。
基本資料
氯硅烷;chlorosilane
硅烷SiH4中的氫原子被氯原子取代后，總稱為氯硅烷，含氯量低時為氣體，較高時為液體，無色或黃色，
通式為HnSiCl4-n;n=0,1,2,3；
可由硅粉與氯化氫于290～400℃反應來制取，也可由硅粉與氫和氯化氫的混合物，
在氯化亞銅存在下，于250℃左右反應來制取。
用作硅外延片生產過程中的硅源及制備有機氯硅烷的原料。
此外，氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高純度硅的的中間產物。分餾后，可以獲得99.999999999%（十一個9)純度的硅。
健康危害
吸入、食入對眼和呼吸道粘膜有強烈刺激作用。高濃度下，會引起角膜混濁、呼吸道炎癥，甚至肺水腫，并可伴有頭昏、頭痛、乏力、惡心、嘔吐、心悸病等癥狀。濺在皮膚上，可引起壞死、潰瘍，長期不愈。
急救措施
皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用流動清水沖洗15分鐘以上。若有灼傷，就醫治療。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液沖洗。吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。注意保暖，保持呼吸道通暢。必要時進行人工呼吸。就醫。食入：患者清醒時立即漱口，給飲牛奶或蛋清，立即就醫。
泄漏處理
疏散泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，建議應急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學防護服。不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質(木材、紙、油等)接觸，在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(或擴散)，但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。將地面灑上碳酸鈉灰，然后用大量水沖洗，經稀釋的洗水放入廢水系統。如果大量泄漏，最好不用水處理，在技術人員指導下清除。
參考資料 >