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高純硅烷
來源:互聯網

高純硅在常溫常壓下為惡臭的無色氣體,在空氣或肉素氣體中發生爆炸性燃燒。

正文

特性

與金屬鹵化物激烈反應,也與L`C'1,反應,對硅烷不能用氟利昂滅火劑。熔點一1舒?!鎺?a href="/hebeideji/1900699163208461085.html">沸點一111.5℃二一般采用低溫吸附連續掖化精餾提純I藝,了「廣仁產中對氣體成分進行連續監控,制得產品。用于半導體牛產巾的生長高純單晶硅、多品硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、非品硅等化學氣相淀積工藝。并廣泛用十非品硅人陽能電池、硅復印機鼓、光電傳感器、光導纖維、特種玻璃等的生產研制。

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