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《半導體材料與器件表征技術》是由施羅德所著的一部學術著作，于2008年由大連理工大學出版社出版發行。本書深入探討了現代半導體產業中對半導體材料和器件的表征技術，涵蓋了廣泛的電學、光學測試方法，以及涉及半導體材料特性的物理和化學分析方法。
內容簡介
《半導體材料與器件表征技術》不僅闡述了測量過程中的物理學原理及其影響因素，還結合了作者自身及其他專家的經驗，提供了具體的實驗操作指南，并指出了各種測量方法的優缺點和注意事項。新版書籍經過修訂和擴充，新增了許多成熟的表征技術，包括利用掃描探針檢測硅晶圓中的金屬雜質，以及采用微波反射技術實現非接觸式電阻測量等。
此外，新版書籍還引入了可靠性評估和探針顯微技術的新內容，增補了大量的實例和練習題目，重新繪制并修正了500張圖表，更新了超過1200條參考資料，并選擇了更為實用的計量單位體系。該書適用于碩士、博士研究生的學習，同時也可供高等院校教師和半導體行業研究者參考。
作者簡介
施羅德（DIETER K.SCHRODER），現任教于亞利桑那州立大學電子工程系，榮獲該校工程學院頒發的教學卓越獎項。他還是一位多產的學者，其代表作品之一就是《現代MOS器件》一書。
參考資料 >
大連理工大學出版社.好發表.2024-09-13
半導體材料與器件表征技術 .中國科學院知識服務平臺 .2024-09-13
半導體材料與器件表征技術.豆瓣讀書.2024-09-13