超純水（Ultrapure H?O）簡稱UPW，是被凈化到高規格水平的水，其純度極高，雜質含量極低，不屬于日常飲用水。 超純水是在純凈水的基礎上，將水中的導電介質，不離解的膠體物質、氣體及有機物幾乎完全去除。超純水的標準是：水中僅含有 H20，以及適度數量的 H+ 和 OH- 離子。 其電阻率為 18.2?MΩ.cm（25℃）、TOC < 10 ppb、細菌數 < 10 CFU/ml。 要歸類為超純水，水中不得含有任何可檢測的內毒素。
超純水可用于清洗和制造半導體元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影響產品質量。電子級超純水是半導體制造的基礎性生產物料，在產品清洗和蝕刻中發揮重要作用，用量極大。超純水的制備過程包括多種凈化技術，如過濾、紫外線消解、離子交換單元等，以達到幾乎去除除水分子以外的所有雜質的目的。在使用超純水時，需要注意水質的穩定性和安全性。
制備
超純水的制備過程是復雜且精確的。
應用
超純水在實驗室分析試驗中扮演著重要的角色，例如在原子光譜、高效液相色譜、超純物質分析、痕量物質等實驗中，其純凈性質使得實驗結果更加準確和可靠。在半導體行業中，超純水用于清洗和制造半導體元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影響產品質量。電子級超純水是半導體制造的基礎性生產物料，在產品清洗和蝕刻中發揮重要作用，用量極大。在芯片過程中,超純水被廣泛應用于清洗、蝕刻、沉積、光刻等多個關鍵步驟。由于芯片制造過程中使用的光刻機、蝕刻機等設備對水質要求極高,微小的顆粒或雜質都可能導致芯片缺陷,影響其性能和壽命。因此,超純水在芯片制造過程中的作用不可或缺。
注意事項
在使用超純水時，需要注意水質的穩定性和安全性。超純水在儲存時可能會吸收空氣中的雜質，因此建議使用新鮮的超純水，并定期進行水質檢測和系統的維護。此外，為了確保系統的長期穩定運行，給水質量的預處理也非常重要，以避免雜質導致耗材過早耗盡。
參考資料 >
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高頻科技推動超純水技術發展，助力廢水處理產業升級.中國網海峽頻道.2024-04-09
第五屆電子行業超純水制備與污水再生利用技術研討會圓滿舉辦.清華大學環境學院.2024-04-09
純化水與超純水的制備原理.濟寧學院.2024-04-09
實驗室超純水設備.SARTORIUS.2024-04-09
實驗室如何制取超純水?超純水適和作為飲用水嗎?.網易.2024-04-09