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華海清科股份有限公司（英文名：Hwatsing Technology Co.,ltd.）是一家半導體裝備制造商，成立于2013年4月10日，前身是天津華海清科機電科技有限公司。公司總部位于天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號，現任法人和董事長是王同慶。

2014年3月，天津華海清科機電科技有限公司成功研發出公司的中國首臺國產12英寸CMP商業機型Universal-300。2015年11月，公司承接了“國家02科技重大專項”項目任務。2017年，Universal-300Plus進入客戶端，此后，Universal-300Dual、Universal-300X等機型先后進入市場，形成批量銷售。2019年9月，公司CMP設備在客戶端大生產線生產晶圓突破100萬片。2020年3月，公司更名為華海清科股份有限公司。2021年7月，公司的研磨拋光裝備產業基地啟動使用。9月，華海清科股份有限公司首臺十二英寸超精密晶圓減薄機進入客戶端驗證。2022年4月，中國證監會同意華海清科股份有限公司在科創板首次公開發行股票的注冊申請。2022年6月8日，華海清科股份有限公司成功登陸上海證券交易所科創板，發行價為136.66元/股，股票代碼為688120。2024年5月16日上午，華海清科股份有限公司與上海臨港新片區管委會簽署了戰略合作協議。同年8月，公司申請一項名為“晶圓對心裝置、晶圓傳輸裝置和晶圓劃切裝置”的專利，公開號CN119028893A。

華海清科股份有限公司曾先后獲得了工人先鋒號（2021年4月27日）、機械部榮獲全國工人先鋒號候選集體、天津市科技領軍百強企業等榮譽。

歷史沿革

2013年4月10日，華海清科股份有限公司的前身天津華海清科機電科技有限公司成立。2014年3月，天津華海清科機電科技有限公司成功研發出公司的首臺國產12英寸CMP商業機型Universal-300。2015年11月，天津華海清科機電科技有限公司承接了“國家02科技重大專項”項目任務。2017年，Universal-300Plus進入客戶端，此后，Universal-300Dual、Universal-300X、Universal-300T等機型先后進入市場，形成批量銷售。公司CMP設備市占率、進口替代率均位居國產IC裝備前列。2019年8月19日上午，華海清科股份有限公司研磨拋光裝備產業基地建設舉行了啟動儀式。同年9月，天津華海清科機電科技有限公司CMP設備在客戶端大生產線生產晶圓突破100萬片。

2020年3月，天津華海清科機電科技有限公司更名為華海清科股份有限公司。2021年6月，華海清科股份有限公司第100臺12英寸CMP設備出貨。同年7月，華海清科股份有限公司的研磨拋光裝備產業基地啟動使用。9月，華海清科股份有限公司首臺十二英寸超精密晶圓減薄機進入客戶端驗證。2022年1月，華海清科股份有限公司CMP設備進入封裝領域國際頭部客戶。2022年1月28日，該企業技術中心入選“2021年（第28批）新認定國家企業技術中心名單”。同年2月，華海清科股份有限公司晶圓再生產品規模量產，累計出貨量突破10萬片。6月8日，華海清科股份有限公司成功登陸上海證券交易所科創板，股票代碼為688120。2023年5月21日，華海清科公告，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺出機發往集成電路龍頭企業。同年5月31日，華海清科公告，占公司總股本47.6008%的IPO限售股于6月8日起上市流通。2024年5月16日上午，華海清科股份有限公司與上海臨港新片區管委會簽署了戰略合作協議。同年8月，華海清科股份有限公司申請一項名為“晶圓對心裝置、晶圓傳輸裝置和晶圓劃切裝置”的專利，公開號CN119028893A。10月16日-10月18日，華海清科股份有限公司參加了在深圳會展中心(福田)召開的首屆“灣芯展SEMiBAY”--灣區半導體產業生態博覽會。

2025年6月17日，華海清科董事長王同慶提議使用5000萬元至1億元超募資金及自有資金，通過集中競價方式實施股份回購?；刭彽墓煞菸磥砜捎糜趩T工持股計劃、股權激勵或注銷。

機構治理

組織架構

華海清科股份有限公司旗下有3家全資子公司，2家分公司。

管理層

股權結構

機構業務

經營范圍

華海清科股份有限公司主要經營機電設備技術的開發、轉讓、咨詢、服務及相關產品的制造、安裝、維修；貨物及技術進出口業務；企業管理咨詢服務；晶圓加工；機電設備及耗材制造、銷售；電子專用材料銷售；電子專用材料制造；電子專用材料研發；非居住房地產租賃；機動車充電銷售。

主要產品

公司的主要產品包括CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關鍵耗材與維保服務等。產品及服務廣泛應用于集成電路制造前道工序、先進封裝、大硅片、第三代半導體、MEMS、MicroLED等多個領域。

科研成果

設備研發成果

2023年4月，華海清科股份有限公司自主研發的全新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺發往集成電路領域頭部企業，標志著國產減薄設備批量進入大規模生產線，填補了中國芯片裝備行業在超減薄技術領域的空白。2025年，其控股子公司芯?？萍荚陔x子注入裝備領域取得技術突破，自主研發的首臺12英寸低溫離子注入機成功交付國內邏輯芯片制造領域頭部企業。該成果實現了大束流離子注入機各型號產品的全覆蓋，并同步布局中束流、高能離子注入機等產品線，應用范圍拓展至邏輯芯片、存儲芯片等多個領域。

專利技術成果

經營狀況

2023年，華海清科股份有限公司實現營業收入2,507,991,057.37元，同比增長52.11%；歸屬于上市公司股東的凈利潤723,746,551.15元，同比增長44.29%。經營活動產生的現金流量凈額為652,931,193.42元，歸屬于上市公司股東的凈資產5,517,735,976.37元。