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液相外延：是由溶液中析出固相物質(zhì)并沉積在襯底上生成單晶薄層的方法。在外延生長過程中，可以通過四種方法進(jìn)行溶液冷卻：平衡法、突冷法、過冷法和兩相法。
英文名
簡介
液相外延【liquid phase epitaxy】【】由溶液中析出固相物質(zhì)并沉積在襯底上生成單晶薄層的方法。液相外延由尼爾松于1963年發(fā)明，成為化合物半導(dǎo)體單晶薄層的主要生長方法，被廣泛的用于電子器件的生產(chǎn)上。薄層材料和襯底材料相同的稱為同質(zhì)外延，反之稱為異質(zhì)外延。液相外延可分為傾斜法、垂直法和滑舟法三種，其中傾斜法是在生長開始前，使石英管內(nèi)的石英容器向某一方向傾斜，并將溶液和襯底分別放在容器內(nèi)的兩端；垂直法是在生長開始前，將溶液放在石墨鍋中，而將襯底放在位于溶液上方的襯底架上；滑舟法是指外延生長過程在具有多個(gè)溶液槽的滑動石墨舟內(nèi)進(jìn)行。在外延生長過程中，可以通過四種方法進(jìn)行溶液冷卻：平衡法、突冷法、過冷法和兩相法。
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