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高純乙硅烷是沸點一14 . 3}_' ,.熔點一132.5 C' :.是一種無腐蝕性的微毒氣體，對水和酸穩定，遇堿分解成硅酸鹽和氫，在堿金屬作用下分解成硅和氫。在空氣中能白燃而生成_氧化硅和水。
特性
沸點一14 . 3}_' ,.熔點一132.5 C' :.是一種無腐蝕性的微毒氣體，對水和酸穩定，遇堿分解成硅酸鹽和氫，在堿金屬作用下分解成硅烷和氫。在空氣中能白燃而生成_氧化硅和水。制備時采川硅烷原料氣經質量流量計進入放電管，在適當溫度、頻率和電壓一F生成含一定量乙硅烷、甲烷和氫的混合氣甲混合氣在不同的冷阱進行吸收，雜質被排出，可得高純乙硅烷?？捎糜?a href="/hebeideji/5768745404245472962.html">太陽能電池生產，分子柬外延和離子注人等技術在}C陽能電池生產上。用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上i}淀積速度快許多倍，且溫度可降低200 ~ 300x'。在離子注人中用乙硅烷作離子源后易起輝、束流強、效果明}d好十用其他氣體作離子源。
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