微光學（Micro-optics），又稱微小光學，是20世紀90年代興起的一門新型光學學科，涉及微米級別的光學表面微結構。它是在微電子學的微細加工技術發展的背景下產生的，代表了光學領域的科學前沿。
形成與發展
微光學的形成源于微型化和智能化的需求，這些需求促進了微電子學的發展。70年代，微電子學的發展使得電路技術實現了微型化，但在功能器件方面仍存在局限性。80年代初，微機械和微電器的出現，促成了光學的微型化進程。微光學最初出現在80年代中期，它是通過光刻、波導及薄膜技術制造的光學微器件，如半導體激光器、集成光纖、波導干涉儀、二元光學元件等。隨后，微光學技術得以進一步發展，能夠制造出與襯底垂直的三維光學微器件，如各種折射、反射、衍射、全息、變折射率器件、波導器件等。這種發展導致了微光學平臺（MOT）的出現，進而與微機電系統（MEMS）相結合形成了微光機電系統（MOEMS）。微光學的研究對象包括微米量級的光學功能器件及其表面微結構。
應用
微光學元件因其體積小、重量輕、設計靈活且易于批量生產的特點，在多個領域得到了廣泛應用。例如，SurgiLas德國全球專利微光學治療儀在靜脈曲張治療方面的應用，展現了微光學技術的巨大潛力。此外，微光學電子機械系統集成了微傳感器、微執行器、電子電路和微光學元件，能夠在光學、電學和機械功能上同時發揮作用，是微電子機械系統的重要發展方向。
技術發展方向
微光學技術的現代發展方向主要包括兩個方面：一是微光學與微機電系統的結合，形成微系統；二是微芯片技術，即將微細加工技術應用于分析化學和生命科學，形成微芯片，這被認為是高技術領域的一次重大變革。微光電探測是微芯片的關鍵技術之一。
衍生技術
深刻蝕光學元件是一種高效的衍射光學元件，具有較高的衍射效率和良好的耐潮性能。研究人員已經成功研制出深度達2.5微米、線密度高達670線/毫米的高密度光柵，其在通信波段1550納米下的實際效率達到了89%。這類深刻蝕微光學元件具有廣闊的應用前景，是微光學元件的一個重要發展方向。
參考資料 >
基于超表面的微光學技術成為熱點.網易手機網.2024-11-07
微光學研究及其應用-金鋤頭文庫.金鋤頭文庫.2024-11-07
微光學器件數字掩模制作技術.南昌航空大學科學技術處.2024-11-07