異相反應是在不同相之間，通常是固體、液體或氣體之間發生的物理化學反應。這一現象在薄膜的沉積生長中尤為顯著，其中薄膜的形成是通過固態生長表面與被其吸附的氣相產物之間的異相反應實現的。
分類及原理
化學氣相沉積（CVD）
化學氣相沉積是一種常見的薄膜沉積方法，它涉及將氣態前驅體引入高溫反應室，在基底表面上分解并沉積成薄膜。這個過程通常發生在高于材料熔點的溫度下，因此需要使用高真空條件來防止氧化和其他雜質的污染。
物理氣相沉積（PVD）
物理氣相沉積則是另一種常用的薄膜沉積技術，它包括蒸發、濺射和離子束輔助沉積等多種工藝。這些方法都涉及到將源材料加熱至氣態，然后將其沉積在基底表面上形成薄膜。
均相反應與異相反應
均相反應
均相反應是指在單一固相、氣相、液相中進行的化學反應，即在反應過程中與其他物相沒有物質交換的反應。固體均相反應是指在單一的固相中結構組元發生的局域重排過程。例如在鎳鋁尖晶石NiAl2O4中，鎳和鋁離子分別占據氧離子構成的四面體和八面體格位。在溫度變化時，鎳和鋁離子在兩種格位上的分布可以發生變化。這種離子格位的重排反應可以利用鎳離子的光譜變化測定。在均相反應中，不存在原子或離子的長程運動和組合物相的體積也不發生改變。材料的很多相變過程，特別是二級相變過程屬于均相反應。
異相反應
異相反應則是在兩相或者三相中進行的化學反應，即在反應過程中與其他物相具有物質交換的反應。例如：以酶免反應為例，一個抗體包被在聚苯乙烯微孔板上（為固相），而被檢測的抗原在液體中（為液相），他們的反應是處于兩個相中，稱為異相反應。一般檢測大分子用此法。如肝炎標志物，腫瘤標志物和自身抗體等。而抗原和抗體都是在液相中，所形成的反應體系為均相反應，一般檢測小分子，如嗎啡，器官移植中抗排異藥物的檢測等可用此法。
參考資料 >
化學異相反應.百度文庫.2024-11-27
簡述異相反應過程.百度教育.2024-11-27
《Science》:我們都錯了，異相反應只需一點點有機溶劑就夠了!.網易.2024-11-27