Gas)(可燃性氣體)。 GAS(可燃性氣體)。 ：SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。
物理性質(zhì)
分子式：NH3
A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.（一種無色，有毒，可燃，具腐蝕性的可液化氣體。）沸點(diǎn)33.4℃。熔點(diǎn)77.7℃。蒸汽壓888KPa（21.1℃）。比容22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)。最低可燃性含量15%。最高可燃性含量30%。人體的最高容許濃度25ppm。DOT類別2.2(Flammable Gas)(可燃性氣體)。DOT標(biāo)簽FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)。
化學(xué)性質(zhì)
超純氨是微電子學(xué)氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反應(yīng)為：750―850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850―900℃ ：SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。雖然NH3在半導(dǎo)體制造用量不大，但在光電子領(lǐng)域、超純氨是十分重要的原材料，NH3的質(zhì)量好壞直接決定發(fā)光二極管（LED）的亮度，它的價(jià)格高低左右著LED的經(jīng)濟(jì)性。發(fā)光二極管LED是繼托馬斯·愛迪生發(fā)明電燈后，人類又一次照明工業(yè)的革命，發(fā)達(dá)國家（包括我國省在內(nèi)）為在此領(lǐng)域獲得更大的主動(dòng)權(quán)，紛紛成立國家照明工作委員會(huì)，LED現(xiàn)已產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，生產(chǎn)的LED已大量進(jìn)入我國市場，為打破專利壟斷，中國成立了照明工作領(lǐng)導(dǎo)辦公室，中國將在2006年全面推廣半導(dǎo)體照明，屆時(shí)對(duì)NH3的需求將猛增。LED是利用超純氨同三甲基鎵（被稱為MO源）反應(yīng)，生成GaN半導(dǎo)體的，其反應(yīng)為650℃Ga(CH3)3+NH3 ，GaN+CH4N2 發(fā)達(dá)國家光電子發(fā)展速猛，處于成熟期，因此，極大推動(dòng)氣體公司對(duì)氨提高純度的研究，AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3純度達(dá)到6.4N，被稱為“藍(lán)色 ammonia”。它是采用工業(yè)氨經(jīng)吸附――精餾――深度化學(xué)凈化等聯(lián)合工藝，對(duì)氨進(jìn)行凈化。亞洲的日本昭合電工株式會(huì)社，有電子級(jí)氨對(duì)外出售，目前，我國許多LED生產(chǎn)用戶所用的進(jìn)口氨，基本上是普萊克斯、APCI和日本昭合電工。
發(fā)展歷程
我國對(duì)氨凈化、分析等的研究起步于80年代，當(dāng)時(shí)為滿足我國微電子學(xué)工業(yè)的需要，光明化工研究設(shè)計(jì)院、北京氧氣廠先后開展了電子級(jí)高純氨的研究與生產(chǎn)，生產(chǎn)的產(chǎn)品滿足了當(dāng)時(shí)我國電子工業(yè)對(duì)氨的急需，進(jìn)入2000年光明院又承擔(dān)了國家十五“863”“超純氨的研究與產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)”課題，在國家資金的資助下，經(jīng)過系列的研究，克服了氨凈化過程中的“馬蹄型”效益，在原有的基礎(chǔ)上，對(duì)氨凈化技術(shù)，大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)，產(chǎn)品包裝技術(shù)等諸多方面有突破性進(jìn)展，現(xiàn)有100kg超純氨包裝容器20多支，往返生產(chǎn)與用戶之間，整個(gè)生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化，產(chǎn)量達(dá)到500t/a，生產(chǎn)的產(chǎn)品三年來一直應(yīng)用于LED生產(chǎn)線，是目前國內(nèi)唯一真正用于LED大規(guī)模實(shí)用化生產(chǎn)流水線的氨生產(chǎn)廠，預(yù)計(jì)在今年年底，隨著用戶對(duì)MOCVD設(shè)備的再次擴(kuò)大，國產(chǎn)氨用量將大規(guī)模攀升。
參考資料 >