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微電子材料，就是一種由GeSi合金和寬禁帶合成的半導(dǎo)體材料。
主要是大直徑（400mm）硅單晶及片材技術(shù)，大直徑（200mm）硅片外延技術(shù)，150mmGaAs和100mmInP晶片及其以它們?yōu)榛腎II－V族半導(dǎo)體超晶格、量子阱異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料制備技術(shù)，GeSi合金和寬禁帶半導(dǎo)體材料等。
基本簡介
微電子學(xué)材料與器件是微電子產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。微電子器件通常分為集成電路器件、分立器件、光電器件和傳感器等, 其中集成電路器件又分為微處理器、邏輯電路、模擬電路和存儲器等器件。多晶硅、集成電路常用的硅拋光片、外延片、SOI片, 以及IC 制造過程中的氧化、涂光刻膠、掩模對準(zhǔn)、曝光、顯影、腐蝕、清洗、擴(kuò)散、封裝等工藝所需的引線框架、塑封料、鍵合金絲、超凈高純化學(xué)試劑、超高純氣體等均屬于微電子材料。
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